生产多晶硅大都运用改进西门子法，改进西门子法在生产环节中产生大量的化学废气和残留液体。氯硅烷和硅粉是化学废水所包含的主要成分。氯硅烷极易被水分解，在实践生产处置中，用低浓度的氢氧化钠溶液以及含有氯硅烷的残留液体对废气实施喷淋。盐酸、氯硅烷和水会发作化学反响从而得到多晶硅生产废水，废水经生产废水经工业污水处理设备，构成硅胶及含氯的废水，硅胶可经过固液别离的方式别离出来再放入固废堆积处集中处置。硅胶被别离出来后就剩下的含氯废水，即盐类废水，对这些高浓度盐类废水可运用废水蒸发器对其浓缩结晶，再将结晶别离出来，留下液体可再次应用以降低企业的本钱投入。

　　一、蒸发器的工作原理及盐类废水蒸发特性

　　1. 1 工作原理

　　由于盐类废水不能自行挥发，为了对废水实施处置，只能应用蒸发器实施处置，盐类废水为饱和液体，经过蒸发器使其水分蒸发，而废水的浓度将会上升，当其浓度到达在当下温度溶解度的临界点，溶质将不能再被溶解就会被析出。

　　由于蒸发过程中溶液中的水会被汽化，从而产生水蒸气，水蒸气必需引导至其他中央，由于水蒸气将和溶液产生牵轮作用，不饱和液领会再次变成饱和液体，氯化钠无法结晶析出。那么将水蒸气导入冷凝设备当中，让其冷凝，若直接实施这一冷凝环节，这一过程就是单效蒸发。那么多效蒸发的流程便是二次蒸汽被引导至下一级蒸发器，并且对其起到加热作用。

　　蒸发其实是一种热量的传送过程，液体到达沸点汽化的过程就是溶液与冷凝蒸汽之间的热传导。

　　1.2 蒸发特性

　　1.2.1 热量传送

　　传热性是溶液蒸发的特性之一，溶液的外表即为分界面，外表以上溶液呈汽化，外表以下溶液呈液化，决议其状态的即沸点。溶液到达沸点即汽化，在空气遇冷又将变为水蒸气，而在沸点的临界点传热壁面的两方都在不停发作变化，这一个流程能够看做是：溶液受热——沸腾——到达沸点——汽化——水蒸气遇冷——冷凝液化。因而这一个过程也是传热过程。

　　1.2.2 沸点的变化

　　不含其它溶质的溶液称之为H2O(水)。在一个规范大气压之下，水的沸点在99.975摄氏度，当水中参加其它溶质其沸点将随之改动，盐类废水当中含有Nacl，那么在规范大气压之下盐类废水的沸点也随之上升。若盐类废水的浓度越高，其沸点和纯水的沸点差值越多。

　　1.2.3 溶液性质加强

　　溶液在加热蒸发过程中，其浓度会随之增加，因而溶液的酸碱性特征也会变强。例如自身浓度不高的腐蚀性液体，在蒸发过程中水分变少，参与稀释的水分持续减少，液体浓度增加，其腐蚀性能增加，因而操作人员在蒸发有害废水过程中要格外留意。

　　1.2.4 产生固废

　　盐类废水在水分蒸发过程中，浓度增加，析出盐分晶体，同时也会结垢，产生泡沫。若泡沫不及时从溶液中别离出来，会造成其跟随溶液飘入溢流管等设备当中，从而形成设备被污染。

　　二、用于处置多晶硅生产过程中产生的盐类废水的设备

　　2.1 薄膜蒸发器

　　随着科技的开展，处置废水的设备越发先进。薄膜蒸发器是一种在真空环境下对废水实施处置的现代化的蒸发器。它是由一组可加热圆筒组成，每一个圆筒内具有可旋转功用的刮膜器。溶液在圆筒内不时加热并浓缩，在加热到一定浓度后将及液体保送至灌中待其降温结晶。结晶过程完成后再将其送入压滤机中实施固液别离，液体再次送入生产车间循环运用。

　　2.2 三效蒸发器

　　三效蒸发器是同串联一效和二效蒸发器串联，第一个蒸发器产生的二次蒸汽给下一级供热，经过控制设备内部的大气压和沸点，把蒸汽到引至下一个蒸发器的入口。进入第一个蒸发器的过程为一效，以此类推，二次蒸汽进入后面的蒸发器即为二效、三效。

　　2.3 四效蒸发器

　　四效蒸发器是基于三效蒸发器的根底上再串联一个蒸发器，其工作原理和三效蒸发器相似，只是蒸汽需求再进入一个蒸发器。四效蒸发器工作时，废水在蒸发器上端经过处置，进入每一级蒸发管中。废水在蒸发管自上而下流出，构成薄膜，同时与蒸汽发作热交流反响，废液蒸发。且二次蒸汽在每一级蒸发器的方向分歧，传热效率得到极大促进。

　　三、结语

　　含盐废水不经处置直接排出会影响到水资源环境污染，企业要应用蒸发器，将其盐剖析出并处置，剩下液体再次循环至多晶硅生产中运用。三效、四效蒸发器应用二次蒸汽加热，即提升了蒸发效率，又节约了能源，多晶硅生产企业能够多加应用，俭省运营本钱，提升企业经济效益。